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Advanced process control method and advanced process control system for acquiring production data in a chip production installation

机译:用于在芯片生产设备中获取生产数据的高级过程控制方法和高级过程控制系统

摘要

For monitoring production data, a grouping table in which machines are grouped into machine groups, machine components are grouped into machine component groups, chip manufacturing recipes are grouped into recipe groups or chip manufacturing parameters are grouped into parameter groups is used, whereby a considerable improvement in the comparability of the production data to be monitored is achieved.
机译:为了监视生产数据,使用了一个分组表,其中将机器分组为机器组,将机器组件分组为机器组件组,将芯片制造配方分组为配方组,或者将芯片制造参数分组为参数组,从而显着改善了实现了要监视的生产数据的可比性。

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