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An electronic industrial plant and method for operating an electronic industrial plant

机译:电子工业工厂和用于操作电子工业工厂的方法

摘要

An electronic industrial plant has a production unit (200) for producing a semiconductor product and a cryogenic air separation unit (100). The cryogenic air separation unit is sampled from a nitrogen product stream (110), a pure oxygen product stream (120), and a non-pure oxygen product stream (130). The three product streams (110, 120, 130) are sent to the production unit.
机译:电子工厂具有用于生产半导体产品的生产单元(200)和低温空气分离单元(100)。从氮气产物流(110),纯氧气产物流(120)和非纯氧气产物流(130)中取样低温空气分离单元。三个产品流(110、120、130)被发送到生产单元。

著录项

  • 公开/公告号DE102007051182A1

    专利类型

  • 公开/公告日2009-04-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LINDE AKTIENGESELLSCHAFT;

    申请/专利号DE20071051182

  • 发明设计人

    申请日2007-10-25

  • 分类号F25J3/04;H01L21/34;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 19:09:33

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