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SYSTEM AND METHOD FOR AUTOMATICALLY GENERATING A TOOLING SPECIFICATION USING A LOGICAL OPERATIONS UTILITY THAT CAN BE USED TO GENERATE A PHOTOMASK ORDER

机译：用于使用逻辑操作实用程序自动生成工具规范的系统和方法，该逻辑操作实用程序可用于生成光罩订单

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A method of generating a photomask order used to manufacture photomasks using a tooling specification generating system (130) including generating a tooling specification by creating, modifying and/or deleting components of a logical operation that is represented by the tooling specification. The tooling specification is sent to a computer system (200) of a photomask manufacturer in various proprietary and industry standard formats for analysis of the tooling specification, and the photomask design may be simulated using the tooling specification. After receiving the analysis results, the photomask customer's computer system (100) generates the photomask order based on the tooling specification. The photomask order is then sent to the computer system (200) of a photomask manufacturer for manufacture of the photomask.
机译：一种使用工具规范生成系统（130）生成用于制造光掩模的光掩模订单的方法，该方法包括通过创建，修改和/或删除由工具规范表示的逻辑操作的组件来生成工具规范。将工具规范以各种专有和工业标准格式发送到光掩模制造商的计算机系统（200），以分析工具规范，并且可以使用工具规范来模拟光掩模设计。在接收到分析结果之后，光掩模客户的计算机系统（100）基于工具规格生成光掩模订单。然后将光掩模订单发送到光掩模制造商的计算机系统（200），以制造光掩模。

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