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Analysis methods and analyzer of trace impurities in the gas

机译:气体中微量杂质的分析方法和分析仪

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an analysis method and an analysis apparatus of a very small quantity of impurity that can be analyzed at a higher precision.;SOLUTION: In the analysis method of the very small quantity of impurity in a gas using a mass spectroscope for separating the very small quantity of impurity in a sample gas by a separation column 2 of a gas chromatograph, ionizing the very small quantity of impurity at an ion source section 19, and separating mass, pressure in the ion source section 19 from the separation column 2 is kept higher than an atmospheric pressure for analysis.;COPYRIGHT: (C)2004,JPO
机译:要解决的问题:提供一种可以以较高的精度进行分析的极少量杂质的分析方法和分析设备。解决方案:使用质量分析仪对气体中极少量杂质进行分析的方法分光镜用于通过气相色谱仪的分离塔2分离样品气体中的极少量杂质,在离子源部分19离子化极少量的杂质,并从离子源部分19中分离出离子源部分19中的质量,压力。分离塔2保持高于大气压进行分析。;版权:(C)2004,日本特许厅

著录项

  • 公开/公告号JP4185728B2

    专利类型

  • 公开/公告日2008-11-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 大陽日酸株式会社;

    申请/专利号JP20020220419

  • 发明设计人 西名 明;菊地 勉;

    申请日2002-07-29

  • 分类号G01N27/62;G01N30/72;H01J49/04;H01J49/10;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 19:37:46

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