解决方案:在该方法中,设置了在测量液面高度方面不同的多种方法,并且将与热屏蔽体和单晶的外周面之间存在的指定位置以及液晶之间的空间相关联的信息。预先获得热屏蔽体和单晶的外周面。根据制造条件确定空间,并从该信息中选择与确定的空间相对应的测量方法。熔体的液面高度通过所选的测量方法进行测量。
版权:(C)2009,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2009051685A
专利类型
公开/公告日2009-03-12
原文格式PDF
申请/专利权人 SUMCO TECHXIV CORP;
申请/专利号JP20070218409
申请日2007-08-24
分类号C30B29/06;C30B15/26;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:45:39