首页> 外国专利> Helicon plasma source with permanent magnets

Helicon plasma source with permanent magnets

机译:带永久磁铁的Helicon等离子源

摘要

A helicon plasma source has a discharge tube, a radio frequency antenna disposed proximate the discharge tube, and a permanent magnet positioned with respect to the discharge tube so that the discharge tube is in a far-field region of a magnetic field produced by the permanent magnet.
机译:螺线管等离子体源具有放电管,紧邻该放电管布置的射频天线以及相对于该放电管定位的永磁体,以使得该放电管处于该永磁体产生的磁场的远场区域中磁铁。

著录项

  • 公开/公告号US2008246406A1

    专利类型

  • 公开/公告日2008-10-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FRANCIS F. CHEN;

    申请/专利号US20070003330

  • 发明设计人 FRANCIS F. CHEN;

    申请日2007-12-21

  • 分类号H05H1/00;H01J61/28;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 20:12:35

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号