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And UV transparency alkanes, how to use the UV applications and deep vacuum applications this

机译：和紫外线透明性烷烃，如何在紫外线应用和深真空应用中使用

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摘要

The present invention is drawn to the use of alkanes that are highly transparent to UV wavelengths ranging from about 170 nm to 260 nm in optical couplants, optical cements, optical elements, optical inspection media for semiconductor wafers and devices, and immersion photolithography, particularly at 193 and 248 nm exposure wavelength.

机译：本发明涉及在光学耦合剂，光学胶结剂，光学元件，用于半导体晶片和器件的光学检查介质以及浸没光刻法中，特别是对于在以下条件下使用对约170nm至260nm的UV波长高度透明的烷烃的用途。 193和248 nm的曝光波长。

著录项

公开/公告号JP2008502154A

专利类型
公开/公告日2008-01-24

原文格式PDF
申请/专利权人イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー;
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申请/专利号JP20070515575
发明设计人ペング;シエング;フレンチ;ロジヤー・ハークエイル;ウエランド;ロバート・クレイトン;
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申请日2005-06-01
分类号H01L21/027;G03F7/26;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 20:19:24

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