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Wafer-based planning methods and systems for batch-based processing tools

机译:基于晶圆的计划方法和基于批处理工具的系统

摘要

Computer-implemented wafer-based planning methods for batch-based processing tools. Tool groups are appended in a tool group level of planning data provided by a MES for converting planning data from batch-based to wafer-based data. The planning data with appended tool group is applied to dispatch processing tools.
机译:基于计算机的基于晶圆的计划方法,用于基于批次的处理工具。工具组附加在MES提供的计划数据的工具组级别中,用于将计划数据从基于批处理的数据转换为基于晶片的数据。带有附加工具组的计划数据将应用于调度处理工具。

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