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Narrow energy band gap gallium arsenide nitride semi-conductors and an ion-cut-synthesis method for producing the same

机译:窄能带隙氮化砷化镓半导体及其离子切割合成方法

摘要

A method for forming a semi-conductor material is provided that comprises forming a donor substrate constructed of GaAs, providing a receiver substrate, implanting nitrogen into the donor substrate to form an implanted layer comprising GaAs and nitrogen. The implanted layer is bonded to the receiver substrate and annealed to form GaAsN and nitrogen micro-blisters in the implanted layer. The micro-blisters allow the implanted layer to be cleaved from the donor substrate.
机译:提供了一种形成半导体材料的方法,该方法包括形成由GaAs构成的施主衬底,提供受主衬底,将氮注入施主衬底中以形成包含GaAs和氮的注入层。注入层结合到接收器衬底上并退火以在注入层中形成GaAsN和氮微泡。微泡使植入层可从供体基底上切下。

著录项

  • 公开/公告号US7056815B1

    专利类型

  • 公开/公告日2006-06-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 XIAOJUN WENG;RACHEL S. GOLDMAN;

    申请/专利号US20030706737

  • 发明设计人 RACHEL S. GOLDMAN;XIAOJUN WENG;

    申请日2003-11-12

  • 分类号H01L21/265;H01L31/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 21:41:19

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