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机译:基于产品设计和良率反馈系统的综合集成光刻工艺控制系统
公开/公告号GB0505193D0
专利类型
公开/公告日2005-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 ADVANCED MICRO DEVICES INC;
申请/专利号GB20050005193
发明设计人
申请日2003-09-12
分类号G03F7/20;H01L21/66;
国家 GB
入库时间 2022-08-21 21:58:03
机译: 基于产品设计和产量反馈系统的综合光刻工艺控制系统
机译: 基于产品设计和良率反馈系统的综合集成光刻工艺控制系统