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aufschlu00e4mmung of ceriumoxid for polishing, method for the production of these aufschlu00e4mmung and method for polishing the aufschlu00e4mmung

机译:用于抛光的氧化铈的aufschl制备这些aufschl的方法和抛光aufschl的方法

摘要

A cerium oxide slurry for polishing comprising cerium oxide dispersed in water, wherein the slurry has a conductivity of about 30 c muS/cm or less when the cerium oxide concentration in the slurry is c wt. %. In order to adjust the conductivity to about 30 c muS/cm or less, cerium oxide is washed with deionized water.
机译:一种用于抛光的氧化铈浆料,其包含分散在水中的氧化铈,其中当所述浆料中的氧化铈浓度为cwt。%时,所述浆料的电导率为约30cμS/ cm或更小。 %。为了将电导率调节至约30cμS/ cm或更小,用去离子水洗涤氧化铈。

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