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Design for Micromirror Structure and Micromirror Arrays

机译：微镜结构和微镜阵列设计

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PURPOSE: A micro mirror is provided to form a high-efficiency mirror surface in the micro mirror by maintaining a mirror plate in a planar state even if the mirror plate is moved by a comb-finger. CONSTITUTION: A micro mirror includes a mirror plate(11). A bending beam(13) is connected to the mirror plate(11). The bending beam(13) is connected to a supporter(12) in order to support the mirror plate(11). A comb-finger(14) is provided at one side of the mirror plate(11). The comb-finger(14) is connected to the bending beam(13). That is, the bending beam(13) and the comb-finger(14) are positioned in the same direction with respect to the mirror plate(11) so that the mirror plate(11) is maintained in a planar state even if the mirror plate(11) is moved by means of the comb-finger(14).

机译：目的：提供微镜以通过将镜板保持在平坦状态而在微镜中形成高效镜表面，即使该镜板由梳指移动也是如此。组成：一个微镜包括一个镜板（11）。弯曲梁（13）连接到镜板（11）。弯曲梁（13）连接到支撑件（12），以支撑镜板（11）。在镜板（11）的一侧设有梳指（14）。梳指（14）连接到弯曲梁（13）。即，弯曲梁（13）和梳指（14）相对于镜板（11）位于同一方向，因此即使镜面反射镜（11）也保持平面状态。板（11）通过梳指（14）移动。

著录项

公开/公告号KR100485127B1

专利类型
公开/公告日2005-04-25

原文格式PDF
申请/专利权人
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申请/专利号KR20010077395
发明设计人 조동일;구치완;정일우;김성욱;이상철;
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申请日2001-12-07
分类号B81B7/00;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 22:03:56

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