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APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING CHEMICALS NEUTRALIZING AGENT TO PROTECT OPERATOR FROM ACCIDENT CAUSED BY CONTACT OF CHEMICALS AND PREVENT EQUIPMENT FROM BEING CONTAMINATED BY CHEMICALS

机译:提供化学中性试剂以保护操作者免受由化学试剂和被污染的化学药品接触导致的事故的设备和方法的装置和方法

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号KR20050022428A

    专利类型

  • 公开/公告日2005-03-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.;

    申请/专利号KR20030060625

  • 发明设计人 CHO IN BAE;LEE CHEA GAB;

    申请日2003-08-30

  • 分类号H01L21/304;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 22:05:43

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