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High-performance integrated microactuator, particularly for a hard disc read/write transducer

机译：高性能集成式微执行器，特别是用于硬盘读/写转换器

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The microactuator (9') comprises a stator element (17') and a rotor element (11') which are capacitively coupled. The rotor element (11') comprises a suspended mass (12) and a plurality of movable drive arms (13') extending radially from the suspended mass (12) and biased at a reference potential. The stator element (17') comprises a plurality of first and second fixed drive arms (18a', 18b') associated with respective movable drive arms (13') and biased at a first drive potential. A mechanical damping structure (32) is formed by at least one movable damping arm (13'') extending radially from the suspended mass (12) and by at least one first and one second fixed damping arm (18a'', 18b'') associated with the movable damping arm (13'') and biased at said reference potential, to dampen settling oscillations of the rotor element (11').

机译：微型致动器（9'）包括电容耦合的定子元件（17'）和转子元件（11'）。转子元件（11'）包括悬挂质量（12）和多个从悬挂质量（12）径向延伸并偏置在参考电位的可移动驱动臂（13'）。定子元件（17'）包括多个第一和第二固定驱动臂（18a'，18b'），其分别与各个可移动驱动臂（13'）相关联并且以第一驱动电位偏置。机械阻尼结构（32）由从悬挂质量（12）径向延伸的至少一个可移动阻尼臂（13''）以及至少一个第一和一个第二固定阻尼臂（18a''，18b''）形成与可动阻尼臂（13''）相关联的）偏置在所述参考电位上，以阻尼转子元件（11'）的稳定振荡。

著录项

公开/公告号EP0991175B1

专利类型
公开/公告日2005-08-17

原文格式PDF
申请/专利权人 ST MICROELECTRONICS SRL;
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申请/专利号EP19980830573
发明设计人 VIGNA BENEDETTO;
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申请日1998-09-30
分类号H02N1/00;G11B5/55;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 22:10:47

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