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lewis base adducts of anhydrous mononuclear tris (beta diketonat) bismuth compounds for the application of bismuth containing layers and processes for their manufacture

机译:用于含铋层的无水单核三(β二酮)铋化合物的路易斯碱加合物及其制造方法

摘要

A solvent composition useful for liquid delivery MOCVD, comprising toluene and a Lewis base, wherein toluene is present at a concentration of from about 75% to about 98% by volume, based on the total volume of toluene and the Lewis base. Such solvent composition is usefully employed to dissolve or suspend precursors therein for liquid delivery MOCVD, e.g., MOCVD of ferroelectric material films such as SBT.
机译:用于液体输送MOCVD的有用的溶剂组合物,其包含甲苯和路易斯碱,其中基于甲苯和路易斯碱的总体积,甲苯以约75体积%至约98体积%的浓度存在。这种溶剂组合物可有效地用于将前体溶解或悬浮在其中以进行液体输送MOCVD,例如铁电材料膜如SBT的MOCVD。

著录项

  • 公开/公告号DE69906501D1

    专利类型

  • 公开/公告日2003-05-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS INC.;

    申请/专利号DE1999606501T

  • 发明设计人 BAUM THOMAS;DUBOIS H.;

    申请日1999-10-04

  • 分类号C07F9/94;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 23:38:24

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