公开/公告号JP2003197140A
专利类型
公开/公告日2003-07-11
原文格式PDF
申请/专利权人 EBARA CORP;NIKON CORP;
申请/专利号JP20010392552
发明设计人 NIN TAKEAKI;
申请日2001-12-25
分类号H01J37/09;G01B15/00;G01N23/225;G21K1/02;G21K5/04;H01J37/12;H01J37/153;H01L21/66;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 00:20:19