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Method and system for manufacturing 111-V group compound semiconductor and 111-V group compound semiconductor

机译:制造111-V族化合物半导体和111-V族化合物半导体的方法和系统

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号GB0211148D0

    专利类型

  • 公开/公告日2002-06-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED;

    申请/专利号GB20020011148

  • 发明设计人

    申请日2002-05-15

  • 分类号H01L21/20;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/40;

  • 国家 GB

  • 入库时间 2022-08-22 00:23:45

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