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METHOD FOR DETERMINING LASER-INDUCED COMPACTION IN FUSED SILICA

机译:测定熔融石英中激光诱导致密性的方法

摘要

The invention relates to fused silica having low compaction under high energy irradation, particularly adaptable for use in photolithography applications.
机译:本发明涉及在高能辐照下具有低致密性的熔融二氧化硅,特别适用于光刻应用。

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