公开/公告号JP2000200819A
专利类型
公开/公告日2000-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;
申请/专利号JP20000018004
发明设计人 SAKAMOTO YUZABURO;SAKATA MASAO;TANIGUCHI YUZO;HASHIMOTO TAIZO;HANASHIMA SHUICHI;MURAMATSU KIMIO;MIYAZAKI ISAO;ISHIKAWA SEIJI;MATSUOKA KAZUHIKO;OKABE TSUTOMU;SATO OSAMU;SHIMOSHA SADAO;NAKAZATO JUN;NAGATOMO HIROTO;EBARA YUTAKA;OYAMA YUICHI;
申请日1989-07-12
分类号H01L21/66;G01N21/956;G06T7/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 02:02:23