公开/公告号JP2000101124A
专利类型
公开/公告日2000-04-07
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;
申请/专利号JP19980264282
发明设计人 UEMATSU TSUYOSHI;KETSUSAKO MITSUNORI;YAZAWA YOSHIAKI;MIYAMURA YOSHINORI;TSUTSUI KEN;MURAMATSU SHINICHI;OTSUKA HIROYUKI;MINEMURA JIYUNKO;
申请日1998-09-18
分类号H01L31/052;H01L31/042;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 02:03:01