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Stiff actuator active vibration isolation system

机译：刚性执行器主动隔振系统

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An active vibration isolation system (10) includes a plurality of stiff actuators, such as piezoelectric motors (12a-c; 284, 350) which support a small mass (18) inside of a case (300). A passive isolator (20) is interposed between the small mass (18) and the payload mass (Mp). In the instance where the stiff actuators are piezoelectric motors, the sidewalls of the case (300) are used to provide compressive force along the variable length of each of the horizontal piezoelectric motor elements (284, 350) to prevent damage to same. Compensation circuitry (24) is connected between velocity sensors (17) and the stiff actuators to control the variable length thereof in this move-out-of-the-way system (10) and to compensate for resonating modes. Optionally, a payload mass velocity sensor (26) and associated circuitry may be used to provide additional control. Shear decouplers (282a-c; 352, 360) are used in conjunction with the piezoelectric motor elements (12a-c; 284, 350) to minimize the amount of shear force acting on the motor elements. IMAGE
机译：主动振动隔离系统（10）包括多个刚性致动器，例如压电电动机（12a-c; 284、350），其在壳体（300）内部支撑较小的质量（18）。无源隔离器（20）插在小质量块（18）和有效载荷质量块（Mp）之间。在刚性致动器是压电马达的情况下，壳体（300）的侧壁用于沿每个水平压电马达元件（284、350）的可变长度提供压缩力，以防止对其造成损坏。补偿电路（24）连接在速度传感器（17）和刚性致动器之间，以在该行进系统（10）中控制其可变长度，并补偿共振模式。可选地，有效载荷质量速度传感器（26）和相关的电路可用于提供附加控制。剪切解耦器（282a-c; 352，360）与压电马达元件（12a-c; 284，350）结合使用，以最小化作用在马达元件上的剪切力。 <图像>

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