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NON-AMINIC PHOTORESIST ADHESION PROMOTERS FOR MICROELECTRONIC APPLICATIONS.

机译:用于微电子应用的非氨基光致抗蚀剂促进剂。

摘要

A method for providing a substrate having improved adherence for polymeric films is disclosed. The method entails reacting at least one organosilane compound having at least one alkylsilyl moiety therein and at least one hydrolyzable group capable of reacting with the substrate to silylate the substrate. Hydrolyzable by-products from the reaction, if any, have a pH less than or equal to about 7.
机译:公开了一种提供对聚合物膜具有改善的粘附性的基材的方法。该方法需要使至少一种其中具有至少一个烷基甲硅烷基部分的有机硅烷化合物与至少一种能够与底物反应以使底物甲硅烷基化的可水解基团反应。反应的可水解副产物(如果有的话)的pH值小于或等于约7。

著录项

  • 公开/公告号MX9703797A

    专利类型

  • 公开/公告日1998-10-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 COMPLEX FLUID SYSTEMS INC.;

    申请/专利号MX19970003797

  • 发明设计人 WILLIAM R. PETERSON;CRAIG M. STAUFFER;

    申请日1997-05-21

  • 分类号B05D3/10;B05D5/12;B32B15/04;B32B17/06;H01L21/312;H01L21/314;

  • 国家 MX

  • 入库时间 2022-08-22 02:57:28

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