机译:其中的光学位移计和表面形状测量装置,其中的位移测量方法和表面测量方法以及位移测量方法和存储介质可以通过计算机存储程序读取以允许计算机执行计算,以使该方法能够执行该方法。
公开/公告号JPH10148506A
专利类型
公开/公告日1998-06-02
原文格式PDF
申请/专利权人 RICOH CO LTD;
申请/专利号JP19960318563
发明设计人 IZEKI TOSHIYUKI;
申请日1996-11-15
分类号G01B11/00;G01B11/24;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 03:04:47