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A hybrid thin film optical waveguide structure having a grating coupler and a tapered waveguide film

机译:具有光栅耦合器和锥形波导膜的混合薄膜光波导结构

摘要

A hybrid, thin-film, optical waveguide structure has a substrate (10a) with a grating coupler (12a) formed thereon. A thin-film waveguide film (14a) is formed on the substrate and has a tapered portion overlaying the grating.
机译:混合薄膜光波导结构具有衬底(10a)和在其上形成的光栅耦合器(12a)。薄膜波导膜(14a)形成在基板上,并具有覆盖光栅的锥形部分。

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