光谱设备可以特别地用于远紫外的领域,其包括块101的排行的圆15的长度,其包括光电探测器41,其被安装为沿着形成圆的导轨17移动罗兰。 p> & &该装置包括驱动装置,该装置用于沿着导轨移动各种测量单位,并且在驱动装置和摩尔块之间移动传输装置,以恒定地将其引导至衍射光栅,该位移装置对于衍射光栅而言是唯一的。各种度量单位的位移。 p>
公开/公告号JPS6033629U
专利类型
公开/公告日1985-03-07
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号JP19840030523U
发明设计人
申请日1984-03-02
分类号G01J3/20;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 08:28:22