首页> 外国专利> Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, wherein at least one end region is rejuvenated, to carry out semiconductor-technology process and a method for its production

Tube made of quartz glass with a rectangular, oval or square flow cross-section, wherein at least one end region is rejuvenated, to carry out semiconductor-technology process and a method for its production

机译：由石英玻璃制成的具有矩形，椭圆形或正方形流动横截面的管，其中至少一个端部区域被再生，以进行半导体技术工艺及其生产方法

页面导航

著录项
相似文献

摘要

机译：

著录项

公开/公告号DE2526569B2

专利类型
公开/公告日1977-04-28

原文格式PDF
申请/专利权人
展开▼

申请/专利号DE19752526569
发明设计人
展开▼

申请日1975-06-13
分类号C03B23/10;
国家 DE
入库时间 2022-08-23 00:05:57

相似文献

专利
外文文献