公开/公告号US2021131867A1
专利类型
公开/公告日2021-05-06
原文格式PDF
申请/专利权人 SHANGHAI INSTITUTE OF MICROSYSTEM AND INFORMATION TECHNOLOGY CHINESE ACADEMY OF SCIENCES;UNIVERSITY OF CHINESE ACADEMY OF SCIENCES;
申请/专利号US201816966468
申请日2018-04-10
分类号G01J1/46;G01J1/08;G01J1/04;H01L39/10;H01P3/06;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:34:59