公开/公告号US2021158215A1
专利类型
公开/公告日2021-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号US202117140250
发明设计人 DIRK SEIDEL;ALEXANDER FREYTAG;CHRISTIAN WOJEK;SUSANNE TÖPFER;CARSTEN SCHMIDT;CHRISTOPH HUSEMANN;
申请日2021-01-04
分类号G06N20;G06F17/18;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:55:07