公开/公告号JP2021103788A
专利类型
公开/公告日2021-07-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ラム リサーチ コーポレーション;
申请/专利号JP20210051128
发明设计人 サンチェス・アレハンドロ;フォード・グレイソン;エーリッヒ・ダレル;アルワン・アラビンド;レオン・ケビン;コントレラス・アンソニー;ハン・ジュミン;カサエス・ラファエル;ウー・ジョアンナ;
申请日2021-03-25
分类号H01L21/3065;H01L21/683;
国家 JP
入库时间 2022-08-24 20:00:11