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MEMS pressure sensor with multiple sensitivity and small dimensions

机译:MEMS压力传感器具有多种灵敏度和小尺寸

摘要

A MEMS pressure sensor includes a monolithic body of semiconductor material having a first face and a second face and housing a first buried cavity and a second buried cavity, arranged under the first buried cavity and projecting laterally therefrom. A first sensitive region is formed between the first buried cavity and the first face at a first depth, and a second sensitive region is formed between the second buried cavity and the first face at a second depth greater than the first depth. The monolithic body also houses a first piezoresistive sensing element and a second piezoresistive sensing element, integrated in the first and second sensitive regions, respectively.
机译:MEMS压力传感器包括具有第一面和第二面的半导体材料的整体体,并且将第一掩埋腔和第二掩埋腔容纳在第一掩埋腔下方布置并从中横向突出。在第一掩埋空腔和第一深度处的第一面部之间形成第一敏感区域,并且在第二掩埋腔体之间形成第二敏感区域,并且在大于第一深度的第二深度处形成第一面。单片体还容纳第一压电传感元件和第二压电传感元件,分别集成在第一和第二敏感区域中。

著录项

  • 公开/公告号US11079298B2

    专利类型

  • 公开/公告日2021-08-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STMICROELECTRONICS S.R.L.;

    申请/专利号US201916260723

  • 发明设计人 ENRI DUQI;LORENZO BALDO;

    申请日2019-01-29

  • 分类号G01L9;G01L19/14;G01L19;B81B7;B81C1;G01L19/12;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 20:18:26

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