公开/公告号WO2021155202A1
专利类型
公开/公告日2021-08-05
原文格式PDF
申请/专利号WO2021US15782
发明设计人 NANDAGOPALA KRISHNAN SIDDARTHA SRINIVASAN;CARAVEO FRESCAS JESUS ALFONSO;AVILA-AVENDANO CARLOS HUGO;QUEVEDO LOPEZ MANUEL;
申请日2021-01-29
分类号H01L31/115;G01T3/08;
国家 US
入库时间 2022-08-24 20:22:41