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Control based on probability density function of parameter

机译:基于参数概率密度函数的控制

摘要

A method for determining adjustment to a patterning process. The method includes obtaining a probability density function of a parameter related to a feature of a substrate subject to the patterning process based on measurements of the parameter, determining an asymmetry of the probability density function, and determining an adjustment to the patterning process based on the asymmetry of the probability density function of the parameter so as to reduce a probability of the feature having a parameter value that falls outside a range between threshold values of the parameter.
机译:一种确定对图案化过程的调整的方法。 该方法包括基于参数的测量,获得与经过图案化处理的基板的特征相关的参数的概率密度函数,确定概率密度函数的不对称性,并基于的图案化过程确定调整 参数的概率密度函数的不对称性,以减小具有落在参数的阈值之间的范围之外的参数值的特征的概率。

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