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MEMS beam structure and MEMS oscillatory power generation element

机译:MEMS光束结构和MEMS振荡发电元件

摘要

To provide a MEMS beam structure that can reduce the size of an elastic support portion without reducing the amount of power generation.SOLUTION: A MEMS beam structure 51 includes: a beam portion 510a and a beam portion 510b extending in a y direction orthogonal to an x direction; and a connecting portion 511 for connecting a tip of the beam portion 510b and a tip of the beam portion 510a connected to a coupling portion 52. The beam portions 510a and 510b each have a shape as a beam of equal strength, and a beam root of the beam portion 510a is displaced relative to a beam root of the beam portion 510b in the x direction in accordance with the displacement of the coupling portion 52 in the x direction.SELECTED DRAWING: Figure 2
机译:提供一种MEMS光束结构,其可以减小弹性支撑部分的尺寸而不降低发电量。概率:MEMS光束结构51包括:梁部分510a和延伸以x x的ay方向延伸的光束部分510b 方向; 和连接梁部分510b的尖端的连接部分511和连接到连接部分52的梁部分510a的尖端。梁部分510a和510b各自具有作为相等强度的光束的形状,以及光束根 梁部分510a在X方向上的X方向上相对于X方向上的X方向上移动相对于梁部分510b的梁根部移位。选择的绘图:图2

著录项

  • 公开/公告号JP6964102B2

    专利类型

  • 公开/公告日2021-11-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社鷺宮製作所;

    申请/专利号JP20190005388

  • 发明设计人 芦澤 久幸;

    申请日2019-01-16

  • 分类号H02N1;B81B3;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-24 22:09:45

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