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- CLUSTER MASS FLOW DEVICES AND MULTI-LINE MASS FLOW DEVICES INCORPORATING THE SAME

机译:- 包含相同的簇质量流量装置和多线质量流量装置

摘要

A multi-line mass flow device configured for controlled delivery of two or more fluids into a process chamber is provided. The multi-line mass flow device includes a cluster mass flow control manifold and a multi-inlet manifold. The cluster mass flow control manifold includes a controller, a gas manifold mounting block, and two or more gas flow control stations. The multi-inlet manifold includes a multi-inlet mounting block and two or more isolation valves mounted on the multi-inlet mounting block.
机译:提供了一种用于将两个或更多个流体的控制输送到处理室中的多线质量流量装置。 多线质量流量装置包括簇质量流量控制歧管和多入口歧管。 簇质量流量控制歧管包括控制器,气体歧管安装块和两个或更多个气体流量控制站。 多入口歧管包括多入口安装块和安装在多入口安装块上的两个或更多个隔离阀。

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