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DEVICE AND METHOD FOR OPERATING A BENEFIT BALANCE IN A CLOSED RULES

机译：以封闭规则在效益余额中操作效益余额的设备和方法

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摘要

The present invention relates to a device (100) for operating at least one bending beam (150) in at least one closed control loop (180),wherein the device (100) has: (a) at least one first interface (110),which is designed to receive at least one control variable (160, 575) of at least one control loop (180); (b) at least one programmable logic circuit (120);which is designed to process a control deviation (545) of at least one control loop (180) with a bit depth (400) greater than the bit depth (400) of the control variable (160, 575);and (c) at least a second interface (130),which is designed to provide a variable (170, 565) of at least one control loop (180).

机译：本发明涉及一种用于在至少一个闭合控制回路（180）中操作至少一个弯曲梁（150）的装置（100），其中所述装置（100）具有：（a）至少一个第一接口（110）旨在接收至少一个控制环（180）的至少一个控制变量（160,575）; （b）至少一个可编程逻辑电路（120）;其被设计为处理至少一个控制回路（180）的控制偏差（545），其中比特深度（400）大于钻头深度（400）控制变量（160,575）;（c）至少第二接口（130），其被设计为提供至少一个控制环（180）的可变（170,565）。

著录项

公开/公告号DE102020008092A1

专利类型
公开/公告日2022-02-17

原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
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申请/专利号DE202010008092
发明设计人 CHRISTOF BAUR;FLORIAN DEMSKI;
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申请日2020-08-13
分类号G01Q10/06;G01Q30/04;B82Y35;
国家 DE
入库时间 2022-08-24 23:39:15

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