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直线超声波电动机研究的新进展

摘要

概述了国外直线超声波电动机的结构形式的演化过程,指出杆结构和板结构形式简单,振动效率高,为构建其定子的有效结构形式。指出有突变截面的兰杰文振子会造成声波传播的能量损耗,提出利用连续两个变截面的兰杰文振子设计其定子。提出利用柔性铰链代替弹簧设计夹持元件,该设计方法简化定子的结构形式,改善定子的振动特性。介绍了三种直线超声波电动机,该电机结构简单、运行平稳和输出效率高。以该电机研制直线运动平台,该平台具有毫米级的行程和纳米级的分辨率。它能够作为纳米运动平台和微操作手应用在纳米制造和生物医学工程领域,并正在走向市场化。

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