摘要:提出三维运动平台,并设计其驱动控制系统。该平台由三台直线超声波电动机叠合而成,驱动控制系统精确控制电机的位置和速度,实现平台在三个方向上的运动。驱动控制系统以TI公司的TMS320F28335浮点DSP为核心芯片,搭配CPLD等外围器件和超声波电动机控制器;以光电编码器信号作为电机位置反馈,组成了一个闭环的控制系统。配合上位机,实现对运动平台的位置和速度的控制。开展运动平台的驱动控制研究,研究表明,驱动控制系统能够有效地控制运动平台的在下x,y,z三个方向的运动,其运动行程80mm×80mm×30mm,位置分辨率100nm,控制精度1μm。该平台能够作为微操作手,用于生物医学工程。