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基于棱镜的双光束补偿系统

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半导体激光器体积小、寿命长，广泛应用于小型LTDS中。然而半导体激光器出现微米级抖动是难免的，由此成像在CCD上的光斑位置也同时存在毫米级抖动，对于高精密LTDS需对抖动光源做补偿。提出了一种针对激光三角位移传感器(Laser Triangulation Displacement Sensor LTDS)的双光束补偿系统.该补偿系统利用棱镜之间反射,可将准直的激光光源分成两束平行光束,当LTDS的入射光光源抖动时,输出的两束光对称的上下漂移,其中轴线保持不变,从而起到补偿作用,将LTDS因激光光源引起的mm级误差补偿到μm级.

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来源
《上海市激光学会2015年学术年会》|2015年|149-150|共2页
会议地点上海
作者
杨红伟; 赵辉; 陶卫; 张正琦; 曾新贵; 陈家兴;
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作者单位

上海市激光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN248.4:TN206;
关键词
半导体激光器; 双光束补偿系统; 激光三角位移传感器; 抖动光源; 棱镜;

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