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半导体刻蚀酸中阴离子型氟化物表面活性剂的测定

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本文建立了刻蚀酸（HF与NH4F的体积比为1：6）中阴离子型氟化物表面活性剂(FC-93)的方法。样品通过IonPac NG 1柱后，表面活性剂与HF基体分离。IonPac NG 1柱是一种聚合物反相柱，能够定量的保留表面活性剂，但对无机阴离子却没有保留。然后将浓缩的表面活性剂由IonPac NG 1柱淋洗到OmniPac PAX-500柱体上。在本实验中用氢氧化钠和乙腈为淋洗液，用化学抑制模式的电导检测器进行检测。

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来源
《第13届离子色谱学术报告会》|2010年|1-5|共5页
会议地点青岛
作者
谢衍生;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 O657.75;
关键词
刻蚀酸; 氟化物; 表面活性剂; 化学抑制模式; 电导检测;

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