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高铝硅酸盐玻璃在含氟混合酸刻蚀液中刻蚀速率的研究

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摘要

对HF、H2SO4和HNO3混合酸中,高铝硅酸盐盖板玻璃的刻蚀速率的变化趋势进行了分析,并对刻蚀速率与混合酸中HF浓度的关系进行了研究.研究发现,在一定浓度的HF混合酸中,刻蚀一定厚度的高铝硅酸盐盖板玻璃,其刻蚀速率基本保持不变;同时发现,刻蚀速率与混合酸中HF浓度为非线性关系,在一定浓度范围内,刻蚀速率变化幅度微小.这一发现,对盖板玻璃行业中获得超薄盖板玻璃具有产业化指导意义.

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来源
《2016光电子玻璃及材料技术交流研讨会》|2017年|64-68|共5页
会议地点北京
作者
何根; 董俊威; 展贵鑫; 沈子涵;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ171.718.2;TQ171.687;
关键词
高铝硅酸盐玻璃; 混合酸; 氟含量; 刻蚀速率;
入库时间 2022-08-17 10:12:40

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