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测温用蓝宝石光纤黑体腔镀制方法研究

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黑体腔是蓝宝石光纤温度传感器的核心感温部,是高温传感器的关键部分,其镀制方法的选择对黑体腔质量的影响至关重要,从而直接影响温度传感器的性能,因此,黑体腔的材料以及镀层工艺决定着传感器的测温上限、动态响应、以及使用寿命,也决定了黑体腔本身的热辐射特性,从而直接影响到传感器的测温精度、重复性与稳定性.本文从膜层材料的选择,膜层的镀制技术,膜层镀制后的可靠性等方面对不同镀制方法进行比较分析,经分析，磁控溅射所镀黑体腔较为致密均匀，辐射出的温度信号稍强，但镀制时间较长，费用也较高;电子束蒸发所镀黑体腔辐射出的温度信号稍弱(其中也包含蓝宝石光纤自身的传输损耗)，但在1000℃以上的温度区间对使用没有影响，可以优先考虑此种镀膜方法;需要测量1000℃以下的温区还是建议选用磁控溅射的方法。另外，国内大部分磁控溅射设备空间有限，较长的蓝宝石光纤难以安装，长度大于400mm的蓝宝石光纤黑体腔也可以优先选择电子束蒸发的方法。

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来源
《第七届全国温度测量与控制学术交流会》|2015年|557-564|共8页
会议地点杭州
作者
武建红; 赵俭;
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作者单位

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.11:TP203;
关键词
温度传感器; 蓝宝石光纤; 黑体腔; 镀制工艺;

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