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晶体硅表面的碘酒/乙醇溶液钝化

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本文研究了P型(100)直拉单晶硅片的碘酒/乙醇溶液钝化技术。首先比较了HF和碘酒/乙醇溶液钝化，发现碘酒/乙醇溶液钝化具有更高的少子寿命。接着通过仔细的前清洗流程，优化的浓度为0.01mol/L的溶液，获得了非常好的钝化效果。125 μm 2 Ω·cm单晶硅片少子寿命可以达到124 μs，表面复合速率小于50 cm/s。经过该方法钝化的硅片的有效寿命比较高，对我们准确监控硅片的质量具有重要的意义。

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来源
《第十一届中国光伏大会暨展览会》|2010年|195-197|共3页
会议地点南京
作者
王朋; 杨德仁; 余学功; 阙端麟;
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作者单位

中国可再生能源学会;

江苏省光伏产业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类太阳能电池;
关键词
太阳能电池; 乙醇溶液; 晶体硅表面; 碘酒钝化;

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