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热导可变的高速微测辐射热计

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给出一种高速的测辐射热计的原型结构。该结构结合RF MEMS开关和常规非致冷微桥结构，吸收桥面同时也是RF MEMS开关的上电极，衬底上的反射镜同时也是RF MEMS开关的下电极。吸收辐射阶段，桥面由热导很小的细长桥腿支撑，初始化阶段/读出阶段开关将桥面下拉至衬底，使桥面迅速降温至衬底温度。吸收阶段的热导小至让非致冷性能达到背景限制，读出阶段的热导大到让桥面在微秒内降温至衬底温度，从而避免了非致冷的速度和性能在热导上相互妥协。配合两阶段工作模式，采用自相减相关双采样技术，直接读出两阶段信号差值，该信号只与单元电阻相关，可以对该信号进行充分的放大。采用数值计算对结构的性能进行仿真，结果表明该结构可以工作在10KHz。该高速结构性能有望达到非致冷的背景限。

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来源
《第九届全国光电技术学术交流会》|2010年|15-18|共4页
会议地点北京
作者
程正喜; 马斌; 张学敏; 翟厚明; 施永明;
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作者单位

中国宇航学会;

中国航空学会;

中国兵工学会;

中国光学学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外光学器件;
关键词
微测辐射热计; 非致冷焦平面; 相关双采样; 射频开关;

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