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蓝宝石衬底上透明MgxZn1-xO薄膜的制备及表征

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采用射频磁控溅射法在Al2O3(001)衬底上制备了高Mg含量的MgxZn1-xO薄膜,研究了MgxZn1-xO薄膜的结构和光学性能.结果表:Al2O3(001)衬底上MgxZn1-xO薄膜的组分为Mg0.47Zn0.53O,薄膜呈六方纤锌矿结构.薄膜沿c轴方向取向生长,且c轴方向晶格增大0.002 9 nm.薄膜的吸收边峰值位于292nm,对应的禁带宽度为4.24eV.薄膜平均粒径约为10～20nm,在深紫外-可见光激发下的荧光发射峰分别位于320nm和400nm附近.

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来源
《第五届全国特种玻璃会议》|2010年|2105-2109|共5页
会议地点宁波
作者
张希艳; 刘全生; 王玉霞; 柏朝晖; 王晓春; 孙海鹰;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
氧化锌镁; 射频磁控溅射; 蓝宝石衬底; 透明薄膜;

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