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类金刚石膜的性能及应用

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类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。简要地介绍了DLC膜的结构、制备方法及其在机械、电子、光学、生物医学等领域的应用与存在的问题。

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来源
《中国化工学会2010年石油化工学术年会》|2010年|1005-1007|共3页
会议地点上海
作者
韩小平; 殷雪松; 高玉玲; 董肇勇; 曲茵;
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作者单位

中国化工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
类金刚石膜; 亚稳态; 非晶碳薄膜;

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