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基于微光机电系统的微感知技术

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微光机电系统技术是多种学科交叉融合的前沿高新技术,在该技术上建立的微感知技术是未来微系统技术的核心技术之一.由于微感知技术的微型性、集成性和智能性使得在国防军工、精密仪器、特殊工业以及环境检测等领域具有广泛的应用前景.本文定义了微感知技术的概念及其涵盖的技术范畴,同时对当前国内外的微感知技术研究情况进行了介绍.总结了微光机电系统的几个亟待突破的技术问题,并指出了微感知技术面临的挑战.最后对我国微感知技术的建立发展提出了思考和建议.

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来源
《2010微系统技术发展研讨会》|2010年|26-35|共10页
会议地点贵阳
作者
CHEN Li-jie; 陈丽洁; SHI Xin; 史鑫; LUAN Jian; 栾剑; HUAN Shuai; 郇帅;
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作者单位

《中国电子科学研究院学报》杂志社;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类信号分析;
关键词
微感知技术; 信号处理; 精度控制; 微光机械电子系统;

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