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太阳能电池减反膜的理化性能评估

摘要

采用真空磁控溅射镀膜技术制备太阳能减反膜玻璃。镀膜工艺使用具有灭弧功能的交流电源加旋转溅射陶瓷材料靶,使沉积的化合物膜层变得相对光滑、致密和附着牢固;再用一系列相关检验标准对制备的太阳能减反膜做耐久性试验,评估该样品膜层的理化性能。

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