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MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器

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文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量,并且适合于批量制造。

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来源
《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|178-179198|共3页
会议地点杭州
作者
罗国辉;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
微电子机械加工; 智能化硅压阻; 智能校准补偿; 汽车压力传感器; 温度校准;

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