单模低发散角光子晶体垂直腔面发射激光器

摘要

本文研究了单模光子晶体垂直腔面发射激光器(PC-VCSEL)中光子晶体波导对光束远场形貌的调控。首先基于三层平板波导模型,发现光子晶体周期、占空比(空气孔直径和光子晶体周期的比值)和刻蚀深度控制了单模PC-VCSEL输出光束的发散角。在稳定单模工作条件下,大周期、低占空比和浅刻蚀有利于获得小发散角。然后采用有限时域差分(FDTD)方法详细研究了真实尺寸大小的PC-VCSEL输出光束的远场形貌,并获得了不同结构参数下远场发散角的理论值。最后设计并制作了三种结构参数的的单模PC-VCSEL(编号为A,B,C)。测量结果表明,三种PC—VCSEL在整个工作电流范围内都实现了单模工作(边模抑制比超过30dB),远场发散角分别为5.1-5.5°(A,理论值为5.2°),6.9-7.4°(B,理论值为6.5°)和6.6-7.2°(c,理论值为6.2°)。

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