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电子束熔炼时间对多晶硅杂质去除效果研究

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摘要

采用电子束熔炼对98.8％的工业硅进行提纯，研究电子束熔炼参数的变化对各种杂质元素的去除效果，同时分析熔炼后杂质元素在硅锭上的分布状态。实验结果表明。电子束熔炼对硅中的主要杂质都有一定的去除效果，对P、Ca、Al效果较为明显，熔炼时间越长效果越好。

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来源
《第三届中国储能与动力电池及其关键材料学术研讨与技术交流会》|2009年|96-97|共2页
会议地点张家港
作者
谭毅; 姜大川; 徐云飞; 董伟; 王强; 彭旭;
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作者单位

中国仪表材料学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;TM914.41;
关键词
电子束熔炼; 熔炼时间; 太阳能级硅; 杂质去除;

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